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先锋精科：光刻机零部件已实现部分产品量产交付_蜘蛛资讯网

绩会上，先锋精科董事长、总经理游利回复陶瓷加热器、光刻机部件研发进展时介绍，公司陶瓷加热器研发按计划有序开展，光刻机零部件已实现部分产品量产交付。     

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发布时间：05:46:58